真空鍍膜設(shè)備在工作的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，為了設(shè)備的長(zhǎng)期溫度的使用，所以真空鍍膜設(shè)備在工作的時(shí)候必須通入冷卻水維持其溫度，避免溫度過(guò)高造成設(shè)備的老化或者損壞。真空鍍膜設(shè)備冷卻主要分為腔體冷卻和靶材冷卻。

腔體冷卻是只真空鍍膜腔體在工作的時(shí)候其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生高溫，避免腔體因高溫導(dǎo)致老化所以在其腔體內(nèi)部一般需要通入冷卻水進(jìn)行控溫靶材冷卻是只鍍膜是的靶材會(huì)通入大量電流進(jìn)入從而導(dǎo)致靶材溫度升高，若不能及時(shí)進(jìn)行冷卻降溫將會(huì)導(dǎo)致靶材的損壞。